特許

1. Shuichi Adachi : System Identification Apparatus, US Patent No.12442 (1991)
2. 佐野 久，足立修一：アクティブ騒音抑制方法，特許第3241264号
3. 佐野 久，足立修一：能動振動抑制装置，特許第3580972号
4. 涌井伸二，加藤宏昭，間山武彦，足立修一：露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法，特開2000-82662 (2000)
5. S.Wakui, T.Mayama, S.Adachi and H.Kato : USP:7,072,777, Exposure apparatus anti-vibration apparatus, system identification apparatus and system identification method, July 4, 2006